ある程度原因は絞ったのですがプロセスが残ってしまいます
Dim xlApp As New Excel.Application
        Dim xlBooks As Excel.Workbooks = xlApp.Workbooks
        Dim xlbook As Excel.Workbook = xlBooks.Open(Filename:="data.xls", UpdateLinks:=0)
        Dim xlsheets As Excel.Sheets = xlbook.Worksheets
        Dim xlsheet As Excel.Worksheet = xlsheets.Item(1)
        Dim xlcells1 As Excel.Range
        Dim xlcells2 As Excel.Range
        xlcells1 = xlsheet.Cells
        xlcells2 = xlsheet.Cells

        '問題点
        Dim range1 As Excel.Range
        range1 = xlsheet.Cells(1, 2)
        System.Runtime.InteropServices.Marshal.ReleaseComObject(range1)
　　　　'ここまで

        System.Runtime.InteropServices.Marshal.ReleaseComObject(xlcells1) 'xlcells1の解放
        System.Runtime.InteropServices.Marshal.ReleaseComObject(xlcells2) 'xlcells2の解放
        xlbook.Close(False)
        xlApp.Quit()
        System.Runtime.InteropServices.Marshal.ReleaseComObject(xlsheet)
        System.Runtime.InteropServices.Marshal.ReleaseComObject(xlsheets)
        System.Runtime.InteropServices.Marshal.ReleaseComObject(xlbook)
        System.Runtime.InteropServices.Marshal.ReleaseComObject(xlBooks)
        System.Runtime.InteropServices.Marshal.ReleaseComObject(xlApp)

とくに変な使い方はしていないと思うのですが・・・。