こんにちは

http://homepage1.nifty.com/MADIA/vb/vb_bbs2/200412/200412_04120059.html
を参考に自分の保存用サンプルを書いてみました。
詳しくは魔界の仮面弁士 さんのコメントを読んで下さい。
要はCellsプロパティの使い方みたいです。

私もまだよく判りませんが、取り合えずプロセスは残りません。
COMを使う場合特にOption Strict Onは要りますね。

Option Strict On

'無関係部分省略 

    Private Sub ExcelTest()

        Dim xlApp As Excel.Application

        Dim xlBooks As Excel.Workbooks

        Dim xlBook As Excel.Workbook

        Dim xlSheets As Excel.Sheets

        Dim xlSheet As Excel.Worksheet

        Dim xlRange As Excel.Range

        Dim xlCells As Excel.Range

        Const csSheetName As String = "Sheet1"

        Const csPath As String = "E:\Data\Office\Excel\vb2008Test.xls"



        'ファイルを削除しておく 

        Try

            System.IO.File.Delete(csPath)

        Catch ex As Exception

            '何もしない 

        End Try



        xlApp = New Excel.Application

        xlBooks = xlApp.Workbooks

        xlBook = xlBooks.Add()

        My.Application.DoEvents()

        xlSheets = xlBook.Worksheets

        xlSheet = DirectCast(xlSheets(csSheetName), Excel.Worksheet)

        xlCells = DirectCast(xlSheet.Cells, Excel.Range)



        'データ入力 

        For i As Integer = 1 To 5

            xlRange = DirectCast(xlCells(i, 1), Excel.Range)

            xlRange.Value = i * 100

            ReleaseComObject(xlRange)

        Next



        xlApp.Visible = True

        xlBook.SaveAs(csPath)

        xlBook.Close(False)             'xlBook を閉じる 



        '開放処理 

        ReleaseComObject(xlCells)        'xlCells の解放 

        xlCells = Nothing

        ReleaseComObject(xlSheet)       'xlSheet の解放 

        xlSheet = Nothing

        ReleaseComObject(xlSheets)      'xlSheets の解放 

        xlSheets = Nothing

        ReleaseComObject(xlBook)        'xlBook の解放 

        xlBook = Nothing

        ReleaseComObject(xlBooks)       'xlBooks の解放 

        xlBooks = Nothing



        xlApp.Quit()                    'Excel終了  

        ReleaseComObject(xlApp)         'xlApp を解放 

        xlApp = Nothing

    End Sub

#これでまともに動けば大丈夫ですよね？
おかしい所があれば教えてくださいね。