複数バージョンがインストールされた場合、手順によっては HKEY_CLASSES_ROOT 上に
古い ProgID が残ってしまうことがありますね。
バージョン番号付きの ProgID を指定してみるのは如何でしょうか。
https://itecjapan.xsrv.jp/2020/02/10/createobjectexcel-application%E3%81%8C64%E3%83%93%E3%83%83%E3%83%88office%E7%92%B0%E5%A2%83%E3%81%A7%E3%81%AF%E3%82%A8%E3%83%A9%E3%83%BC%E3%81%AB%E3%81%AA%E3%82%8B/