> x64,AnyCPU 32ビットを優先のチェックを外す
そっちで解決しちゃいましたか…。

SysNative というヒントを出したので、そこから WOW64 環境のファイル システム リダイレクターのことに辿り着けることを期待していました。
https://learn.microsoft.com/ja-jp/windows/win32/winprog64/file-system-redirector

Dim sysDir = Environment.GetFolderPath(Environment.SpecialFolder.System)

If Environment.Is64BitOperatingSystem AndAlso Not Environment.Is64BitProcess Then

    sysDir = Path.Combine(Environment.GetFolderPath(Environment.SpecialFolder.Windows), "SysNative")

End If

Process.Start(Path.Combine(sysDir, "WFS.exe"))

なお、WFS.exe (Windows FAX とスキャン) がインストールされていない環境もありえるので、
いずれにせよ、Try ～ Catch は配置しておいた方が必要でしょう。